Shenyang Starlight Advanced Ceramics z powodzeniem dostarcza 8-calowe łodzie z węglika krzemu z trzema słupkami do przetwarzania płytek półprzewodnikowych

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., czołowy producent wyrobów z węglika krzemu z ponad 30-letnim doświadczeniem w branży, niedawno osiągnął znaczący kamień milowy, pomyślnie opracowując i dostarczając specjalistyczne 8-calowe trójkolumnowe łodzie z węglika krzemu do zastosowań w obróbce cieplnej płytek półprzewodnikowych.

Przełom w technologii przetwarzania płytek

Nowo opracowany 8-calowywęglik krzemuŁodzie trójkolumnowe stanowią znaczący postęp w technologii obróbki płytek, zaprojektowane specjalnie do:

• Obróbka wysokotemperaturowa płytek półprzewodnikowych o średnicy 200 mm

• Jednolita dystrybucja ciepła podczas krytycznych etapów produkcji

• Zmniejszone ryzyko skażenia w środowiskach pomieszczeń czystych

Przewaga techniczna

Te precyzyjnie zaprojektowane łodzie charakteryzują się:

• Ultra-wysoka czystośćwęglik krzemumateriał (czystość 99,99%)

• Zoptymalizowana konstrukcja z trzema słupkami zapewniająca minimalny kontakt z płytkami

• Wyjątkowa odporność na szok termiczny (wytrzymuje gwałtowne zmiany temperatury do 1400°C)

• Wyjątkowa obojętność chemiczna w stosunku do gazów żrących

Spełnianie wymagań przemysłu

"Nasze 8-calowewęglik krzemuŁodzie trójkolumnowe odpowiadają na rosnące zapotrzebowanie branży półprzewodnikowej na niezawodne i wydajne nośniki płytek, " powiedział dr Li, dyrektor ds. technologii. " Oferują one znaczące zalety w porównaniu z tradycyjnymi nośnikami kwarcowymi, w tym dłuższą żywotność i lepszą stabilność termiczną. "

Rygorystyczny proces rozwoju

Rozwój produktu obejmował:

• 18 miesięcy intensywnych prac badawczo-rozwojowych

• Współpraca z wiodącymi producentami półprzewodników

• Ponad 200 testów cyklu termicznego

• Ścisłe środki kontroli zanieczyszczeń cząsteczkowych

Zapewnienie jakości

Każda jednostka przechodzi:

• Weryfikacja dokładności wymiarowej (tolerancja ±0,02 mm)

• Badanie chropowatości powierzchni (Ra < 0,2μm)

• Kompleksowa kontrola wizualna

• Końcowe czyszczenie i pakowanie w pomieszczeniu czystym klasy 100

Aplikacje

Łodzie są obecnie wykorzystywane do:

• Procesy dyfuzyjne

• Zabiegi wyżarzania

• Procesy utleniania

• Zastosowania CVD

Przyszłe wydarzenia

Bazując na tym sukcesie, Shenyang Starlight obecnie rozwija:

• Wersja 12-calowa dla płytek o rozmiarach nowej generacji

• Projekty dostosowane do konkretnych wymagań procesowych

• Zaawansowane powłoki do specjalistycznych zastosowań

Zaangażowanie firmy

"Jako firma z trzydziestoletnim doświadczeniem w dziedzinie ceramiki, nadal jesteśmy zaangażowani w poszerzanie granic technologii materiałów półprzewodnikowych," dodał dr Li. "Wprowadzenie tego produktu na rynek pokazuje naszą zdolność do opracowywania rozwiązań spełniających najbardziej rygorystyczne wymagania branży."