Shenyang Starlight Advanced Ceramics: 30-letnie dziedzictwo pionierskiej transformacji węglika krzemu w pionierskie półprzewodniki

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., pionier w produkcji węglika krzemu z trzydziestoletnim doświadczeniem, strategicznie przechodzi z tradycyjnej produkcji mebli piecowych na rozwiązania klasy półprzewodnikowej. Wykorzystując swoje głębokie doświadczenie techniczne i możliwości globalnego łańcucha dostaw, firma jest gotowa na nowo zdefiniować precyzję.węglik krzemukomponenty do produkcji układów scalonych nowej generacji.

Od pieca do wióra: strategiczna ewolucja

Założona w 1995 roku jako chińsko-niemieckie joint venture, firma Shenyang Starlight początkowo koncentrowała się na komponentach do pieców przemysłowych, zyskując uznanie jako krajowe przedsiębiorstwo high-tech i eksportując produkty do ponad 20 krajów. Dzięki półprzewodnikomwęglik krzemuprognozowano, że do 2028 r. wartość rynku przekroczy 10 mld dolarów, dlatego firma rozpoczęła dywersyfikację w 2019 r., tworząc dział materiałów zaawansowanych, skupiając się na materiałach o wysokiej czystościwęglik krzemuczęści konstrukcyjne do urządzeń półprzewodnikowych.

„Nasza zmiana wpisuje się w dążenie Chin do osiągnięcia niezależności w zakresie półprzewodników” – powiedział dyrektor generalny, pan Xing.węglik krzemuJego stabilność termiczna i czystość sprawiają, że jest on niezastąpiony w systemach trawienia, osadzania i obróbki płytek półprzewodnikowych.”

Przełomy technologiczne napędzające transformację

1. Innowacja w zakresie materiałów o ultrawysokiej czystości

Firma produkuje obecnie produkty o czystości 4N+ (99,99%)węglik krzemuproszki poprzez opatentowane procesy rafinacji, eliminujące zanieczyszczenia metaliczne, które są krytyczne dla wrażliwych na zanieczyszczenia procesów półprzewodnikowych.

Wieloetapowe spiekanie (reakcyjne wiązanie, rekrystalizacja i prasowanie na gorąco) zapewnia gęstość >3,1 g/cm³, co spełnia specyfikacje ASML i TEL dotyczące kompatybilności z próżnią.

2. Możliwości precyzyjnej produkcji

Zaawansowane techniki formowania, w tym prasowanie izostatyczne i drukowanie 3D, umożliwiają tworzenie złożonych geometrii, np. robotów do obróbki płytek półprzewodnikowych i wkładek komór CVD z tolerancją ±0,01 mm.

Opatentowana obróbka wspomagana laserowo redukuje uszkodzenia podpowierzchniowe o 60% w porównaniu ze szlifowaniem konwencjonalnym, co ma kluczowe znaczenie dla uzyskania chropowatości powierzchni <1 nm w etapach litografii.

3. Synergia międzybranżowa

Opierając się na dziesięcioleciach doświadczeń w pracach badawczo-rozwojowych nad elementami pieców, firma dostosowała konstrukcje odporne na szoki termiczne (pierwotnie przeznaczone do spiekania ceramiki w temperaturze 1600°C) do systemów szybkiego przetwarzania termicznego (RTP) półprzewodników, osiągając o 30% dłuższą żywotność niż alternatywy kwarcowe.

Portfolio produktów półprzewodnikowych

Nośniki płytek: rekrystalizowanewęglik krzemutacki do pieców dyfuzyjnych wysokotemperaturowych, redukujące generowanie cząstek o 50% w porównaniu do tlenku glinu.

Uchwyty próżniowe: Niska emisja gazówwęglik krzemuuchwyty elektrostatyczne z wbudowanymi kanałami chłodzącymi do systemów litograficznych EUV.

Komponenty odporne na plazmę: wiązane azotkiemwęglik krzemuosłony do narzędzi trawiących, sprawdzone w ponad 500-godzinnych testach korozyjnych w warunkach plazmy.

Budowanie ekosystemu opartego na współpracy

1. Partnerstwa akademickie: Wspólne opracowywanie technologii wspomaganych kropkami kwantowymiwęglik krzemupowłoki z Uniwersytetem Shenyang w celu zminimalizowania przywierania płytek w środowiskach o wysokiej próżni.

2. Sojusze branżowe: W 2024 r. dołączył do Liaoning Semiconductor Materials Consortium, dzieląc sięwęglik krzemustandardy przetwarzania z SMIC i Naura.

3. Certyfikacja globalna: Uzyskanie zgodności z normą SEMI S2 w drugim kwartale 2025 r., co otwiera drogę do uzyskania certyfikatów Tier 1 dla odlewni.

Wyzwania i przyszła mapa drogowa

Choć tradycyjne produkty piecowe nadal generują 65% przychodów, dział półprzewodników zakłada roczny wzrost na poziomie 40% poprzez:

Rozszerzenie mocy produkcyjnych: Podwojenie linii prasowania izostatycznego do trzeciego kwartału 2026 r. w celu zaspokojenia zapotrzebowania na narzędzia do produkcji płytek 8-calowych.

Kontrola jakości oparta na sztucznej inteligencji: Wdrażanie wizji maszynowej w celu wykrywania defektów w czasie rzeczywistym podczas obróbki CNC.

Gospodarka o obiegu zamkniętym: recykling 95% szlamu szlifierskiego za pomocą opatentowanych systemów filtracji, zgodnie z celami ESG.

„Nasza 30-letnia podróż odzwierciedla ewolucję chińskiego przemysłu wytwórczego” – zauważył dyrektor ds. technologii Zhang Wei. „Od półek pieców po fabryki chipów – piszemywęglik krzemuNastępny rozdział — jedna warstwa atomowa na raz”.