
Rura pieca z węglika krzemu rekrystalizowanego o wysokiej czystości, łopatka wspornikowa
2025-04-07 13:37
Shenyang Starlight: pionierskie rozwiązania z węglika krzemu dla ery półprzewodników
Od ponad trzech dekad Shenyang StarLight Advanced Ceramics Co., Ltd. stoi na czele innowacji w zakresie materiałów z węglika krzemu. Ponieważ przemysł półprzewodników coraz częściej przyjmuje węglik krzemu ze względu na jego wyjątkową przewodność cieplną, wytrzymałość mechaniczną i stabilność chemiczną, StarLight wykorzystuje swoje doświadczenie, aby nawiązać strategiczną współpracę ze specjalistami od powłok CVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej). Ta synergia ma na celu dostarczanie najnowocześniejszych komponentów z węglika krzemu, które spełniają rygorystyczne wymagania zaawansowanej produkcji półprzewodników.
Dziedzictwo spełnia współczesne wymagania
Założona na początku lat 90. firma StarLight doskonaliła swoje możliwości w zakresie produkcji elementów konstrukcyjnych z węglika krzemu o wysokiej czystości, w tym krytycznych komponentów, takich jak rury pieca i łopatki wspornikowe. Części te są niezbędne w produkcji półprzewodników, gdzie ekstremalne temperatury, środowiska korozyjne i procesy ultraczyste są na porządku dziennym. Tradycyjne materiały, takie jak kwarc lub metale, często nie sprawdzają się w takich warunkach, podczas gdy unikalne właściwości węglika krzemu — w tym temperatura topnienia przekraczająca 2700°C i odporność na szok termiczny — sprawiają, że jest on idealnym kandydatem do sprzętu nowej generacji.
Współpraca w zakresie innowacji: przewaga CVD
Chwilawęglik krzemuwewnętrzne właściwości są niezwykłe, inżynieria powierzchni poprzez powlekanie CVD odblokowuje dalszy potencjał. Strategia StarLight obejmuje dostarczanie precyzyjnie wykonanychwęglik krzemu"blanks" lub zielone ciała dla partnerów CVD, którzy stosują specjalistyczne powłoki, takie jak powłoki o wysokiej czystościwęglik krzemulub dostosowane warstwy ceramiczne — w celu zwiększenia twardości powierzchni, zmniejszenia generowania cząstek lub poprawy odporności na erozję plazmową. Na przykład rury pieca pokryte ultragęstą powłoką CVD-węglik krzemuwykazują wydłużoną żywotność w reaktorach epitaksjalnych, minimalizując przestoje w produkcji układów scalonych.
Ten podział pracy wykorzystuje mocne strony każdej ze stron: biegłość StarLight w zakresie kształtowania zbliżonego do kształtu sieciwęglik krzemuspiekanie zapewnia dokładność wymiarową i integralność strukturalną, podczas gdy specjaliści CVD optymalizują właściwości powierzchni na poziomie atomowym. Produkty końcowe przechodzą rygorystyczne testy czystości (często przekraczającej 99,9995%), wydajności cieplnej i gęstości defektów przed dotarciem do klientów, takich jak producenci OEM sprzętu półprzewodnikowego lub odlewnie płytek.
Napędzanie Przemysłu 4.0 w produkcji półprzewodników
Globalne przejście na półprzewodniki o szerokiej przerwie energetycznej i mniejsze węzły procesowe (poniżej 3 nm) nasiliło potrzebę trwałych, wolnych od zanieczyszczeń komór procesowych. Komponenty StarLight, udoskonalone metodą CVD, rozwiązują problemy, takie jak odrywanie cząstek w środowiskach o wysokiej próżni i degradacja w procesach trawienia na bazie chloru. Niedawne studium przypadku wykazało, że łopatki wspornikowe StarLight pokryte metodą CVD zmniejszyły liczbę cząstek o 40% w piecu utleniającym wiodącego producenta układów scalonych, co bezpośrednio poprawiło wskaźniki wydajności.
Zrównoważony rozwój dzięki nauce o materiałach
Oprócz wydajności ten model współpracy wspiera zrównoważony rozwój.węglik ilikonowykomponenty wytrzymują do 10x dłużej niż tradycyjne alternatywy, co zmniejsza częstotliwość wymiany i ilość odpadów elektronicznych. Ponadto energooszczędne techniki spiekania StarLight są zgodne z ambicjami sektora półprzewodników dotyczącymi zerowej emisji netto.
Patrząc w przyszłość
Wraz z przyspieszeniem stosowania węglika krzemu w litografii EUV, zarządzaniu temperaturą półprzewodników i infrastrukturze komputerów kwantowych, StarLight jest gotowy rozszerzyć swoje partnerstwa CVD. Łącząc dziesięciolecia osiągnięć w inżynierii ceramicznej z zaawansowanymi technologiami powłok, firma nie tylko dotrzymuje kroku rewolucji półprzewodnikowej — pomaga ją zdefiniować. W branży, w której ograniczenia materiałowe często ograniczają postęp, podejście StarLight oparte na współpracy pokazuje, jak specjalizacja i dzielenie się wiedzą specjalistyczną mogą napędzać skoki technologiczne.
W istocie Shenyang Starlight Advanced Ceramics nie jest jedynie dostawcą; jest także czynnikiem umożliwiającym przejście od krzemu do węglika krzemu, co zmieni globalną produkcję półprzewodników.
Uzyskaj najnowszą cenę? Odpowiemy najszybciej jak to możliwe (w ciągu 12 godzin)