Shenyang Starlight Advanced Ceramics osiąga kamień milowy w produkcji półprzewodników dzięki precyzyjnym rurom wkładki o średnicy zewnętrznej 451 mm do przetwarzania płytek 12-calowych

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., pionier w produkcji węglika krzemu z ponad trzydziestoletnim doświadczeniem, niedawno osiągnął znaczący przełom, pomyślnie dostarczając specjalistyczne rurki wykładzinowe o średnicy zewnętrznej 451 mm (OD) do procesów produkcji 12-calowych płytek półprzewodnikowych. To osiągnięcie podkreśla wiodącą rolę firmy w rozwijaniu krytycznych elementów ceramicznych dla globalnego przemysłu półprzewodnikowego. Nowo opracowane rurki wykładzinowe, zaprojektowane specjalnie do zastosowań w przetwarzaniu płytek w wysokiej temperaturze, charakteryzują się zoptymalizowaną średnicą zewnętrzną kołnierza wynoszącą 451 mm, zaprojektowaną tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania zaawansowanego sprzętu do produkcji półprzewodników. Wykorzystując węglik krzemu o bardzo wysokiej czystości (≥99,999%) o wyjątkowej stabilności termicznej (zakres roboczy: od temperatury otoczenia do 1450°C), teRury wykładzinowe komponenty zapewniają minimalną rozszerzalność cieplną (współczynnik 4,0×10⁻⁶/K) i doskonałą odporność na gazy korozyjne, umożliwiając stałą wydajność w procesach utleniania, dyfuzji i osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD). Precyzyjna inżynieria rurek wykładzinowych gwarantuje tolerancję wymiarową w granicach ±0,05 mm i chropowatość powierzchni poniżej Ra 0,1 μm, co jest krytyczne dla zachowania integralności płytek i zmniejszenia ryzyka zanieczyszczenia cząsteczkami w środowiskach pomieszczeń czystych.

Ten Rury wykładzinoweproces rozwoju obejmował 18 miesięcy rygorystycznej współpracy badawczo-rozwojowej z wiodącymi producentami półprzewodników, włączając zaawansowaną analizę elementów skończonych (FEA) w celu optymalizacji dynamiki przepływu gazu i jednorodności termicznej na całej średnicy wewnętrznej 300 mm. Ponad 500 testów cykli cieplnych potwierdziłoRury wykładzinowetrwałość przy szybkich wahaniach temperatury, a opatentowane techniki spiekania zapewniająRury wykładzinowe integralność strukturalna w ekstremalnych temperaturach. Produkcja odbywa się w pomieszczeniach czystych klasy ISO 5, przy czym każda jednostka przechodzi kompleksową Rury wykładzinowekontrole jakości, w tym badanie szczelności helu, analiza gazów resztkowych (RGA) i walidacja metrologiczna przy użyciu skanerów laserowych i współrzędnościowych maszyn pomiarowych (CMM). Wcześni użytkownicy zaawansowanej logiki i produkcji układów pamięci zgłosili 35% redukcję przestojów pieca i 20% poprawę wydajności płytek w porównaniu z tradycyjnymi wkładkami kwarcowymi, co przypisuje się wrodzonej obojętności chemicznej materiału i zmniejszonym wymaganiom konserwacyjnym.

Ten Rury wykładzinoweinnowacja odpowiada na rosnące zapotrzebowanie przemysłu półprzewodnikowego na większe rozmiary płytek i większą spójność procesu, szczególnie gdy producenci przechodzą na węzły sub-5nm. Konstrukcja 451mm OD umożliwia bezproblemową integrację z piecami pionowymi nowej generacji, podczas gdy bardzo niskie poziomy zanieczyszczeń metalicznych materiału (<0,1ppb) zapobiegają zanieczyszczeniu domieszkami w wrażliwych procesach. Oprócz obecnych zastosowań, Shenyang Starlight aktywnie rozwija inteligentneRury wykładzinoweprototypy z wbudowanymi czujnikami do monitorowania temperatury w czasie rzeczywistym i adaptacyjnymi systemami zarządzania temperaturą, kompatybilne z ekosystemami produkcyjnymi Przemysłu 4.0.

Z 30-letnią tradycją i ponad 2000 udanych partnerstw z klientami, Shenyang Starlight nieustannie wprowadza innowacje w dziedzinie ceramiki o wysokiej wydajności, łącząc doskonałość nauki o materiałach z precyzyjną inżynierią, aby rozwiązywać najtrudniejsze problemy branży półprzewodników.